特許
J-GLOBAL ID：200903007513027630
ダイヤモンド状カーボン膜形成方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192503
公開番号（公開出願番号）：特開平8-060364
出願日： 1994年08月16日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンド構造に富むダイヤモンド状カーボン膜を得ることが出来る技術を提供することである。【構成】 プラズマ反応管に対向した位置にある支持体上にプラズマCVD法によりダイヤモンド状カーボン膜を形成する方法であって、前記プラズマ反応管に反応ガスを導入する工程と、前記プラズマ反応管内にバルクなダイヤモンドを配置する工程とを具備するダイヤモンド状カーボン膜形成方法。
請求項（抜粋）：
プラズマ反応管に対向した位置にある支持体上にプラズマCVD法によりダイヤモンド状カーボン膜を形成する方法であって、前記プラズマ反応管に反応ガスを導入する工程と、前記プラズマ反応管内にバルクなダイヤモンドを配置する工程とを具備することを特徴とするダイヤモンド状カーボン膜形成方法。
IPC (3件)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, G11B 5/84
