特許

J-GLOBAL ID：200903007522680141

輻射熱防止板およびその使用方法

発明者： 坂井 隆夫
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221503
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078779
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】内部空間が1方向に連続した複数の温度領域からなる減圧処理装置において、互いに隣接する温度領域間に配され高温領域側から低温領域側への輻射熱を防止して低温領域内を全領域にわたり一定温度に保持しようとする輻射熱防止板の,少ない枚数で目的を果たし得る構造とその使用方法とを提供する。【構成】金属板103,金属箔あるいは金属膜(以下金属と総称する)の一方の面もしくは両面が無機質の熱絶縁材でコーティング状態に覆われた構造とする。無機質の熱絶縁材には鏡面仕上げが可能で金属との圧接接合が可能な単結晶Al2 O3 101、あるいは溶融コーティングが可能な石英を用いる。そして、両温度領域の温度差約25°Cごとに1枚づつ増す使用方法とする。

請求項（抜粋）：

内部空間が1方向に連続して隣り合う複数の温度領域からなる容器内で温度が最高の温度領域以外の温度領域内に被処理基板を配するとともに処理用ガスを該内部空間内へ減圧状態に導入して基板を処理する減圧処理装置により基板を処理する際に被処理基板の,その属する温度領域に隣接するより高温度の温度領域側に配され基板への該高温度温度領域からの輻射熱を防止して基板をその属する温度領域の温度に保持しようとする輻射熱防止板において、金属板または金属箔もしくは金属膜の一方の面もしくは両方の面が無機質の熱絶縁材でコーティング状態に覆われてなることを特徴とする輻射熱防止板。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  C23C 8/10 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31