特許
J-GLOBAL ID：200903007523813560
融液収容ルツボ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-351506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169285
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 ルツボの取り扱い性を改善する。単結晶価格に占めるルツボコストを低減する。安定的な大チャージ引上げを行う。【解決手段】 原料融液を収容する融液収容ルツボ10の周壁部を、外側の保持ルツボ20内に嵌合する部分で上方の口部11と下方の本体部12とに分割可能とする。分割位置を液面レベルの上限位置より上方とする。口部11の繰り返し使用が可能になる。口部11が本体部12と共に外側の保持ルツボ20により確実にサポートされる。
請求項（抜粋）：
CZ法によってシリコン単結晶を製造する際に、原料融液を収容し且つ保持ルツボ内に収容されて使用される単結晶製造用の融液収容ルツボであって、保持ルツボ内に嵌合する部分で周壁部が上下方向に分割可能であることを特徴とする融液収容ルツボ。
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG01
, 4G077PD02
