特許
J-GLOBAL ID：200903007532121892
超微粒子分散材料の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163054
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016451
出願日： 1993年07月01日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 非線形効果等に優れ、かつ数μm以上の厚膜を形成しても膜はがれのない超微粒子分散材料の製造方法を提供する。【構成】 不活性ガス中での加熱蒸発により超微粒子を形成する工程と、有機化合物等と酸素による化学的気相堆積法によりマトリックスを形成する工程とを交互に行い、基板上に超微粒子分散材料を形成する方法。
請求項（抜粋）：
超微粒子の原料となる材料を不活性ガス中で加熱蒸発し、不活性ガスとの衝突により該蒸気を急冷することにより超微粒子を形成し、該超微粒子を基板上に付着させる工程と、該基板上にマトリックスを形成させる工程を交互に行う超微粒子分散材料の製造方法において、該マトリックスを形成させる工程は、有機化合物またはシリコン水素化物の気体が化学反応に関与する化学的気相堆積法による工程であることを特徴とする超微粒子分散材料の製造方法。
IPC (3件)：
B01J 19/00
, C23C 14/24
, C23C 16/30
