プローブカード及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266294
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071719
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】高密度に配列された多数の電極を有する半導体素子の電気的性能を高速信号によって測定可能なプローブカードであって、十分なストロークとスクラブ機能を有し実用性が高いプローブカード及びこのプローブカードを加工精度よく微細な組立作業を要せずに製造できる製造方法を提供する。【解決手段】プローブカードを基材部1、配線部2及び延長配線3より構成し、配線部2は片持ち梁状の形状として、配線部2には、基板6に固定するための固定部11、固定部11から起立した中間部10a、中間部10aに続き探子9を支持する突起支持部10及び測定対象となる半導体素子の電極に接触する探子9を設けることにより、探子9に十分なストロークとスクラブ機能を付与する。

請求項（抜粋）：

検査対象と電気的に接触して電気信号を入出力するためのプローブカードであって、検査対象と電気的に接触するための複数個の片持ち梁状のプローブと、このプローブから引き出される配線と、前記プローブを支持するための基材部と、を有し、前記プローブは、前記基材部に固定されている固定部と、前記固定部から起立した中間部と、この中間部に続く突起支持部と、この突起支持部に設けられ検査対象と接触するための探子と、を有することを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 F , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

Fターム (21件)：

2G003AA07 , 2G003AE03 , 2G003AG03 , 2G003AG12 , 2G003AH05 , 2G011AA17 , 2G011AA21 , 2G011AB08 , 2G011AC14 , 2G011AC32 , 2G011AE03 , 2G011AF07 , 4M106AA02 , 4M106AD23 , 4M106AD26 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106CA01 , 4M106DD04 , 4M106DD10 , 4M106DD15

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