特許
J-GLOBAL ID：200903007535024081
走査電子顕微鏡用対物レンズ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307457
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147775
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 円錐状の対物レンズ先端部の加熱を防止することができる走査電子顕微鏡用対物レンズを実現する。【解決手段】 円錐状の対物レンズの外側(外側ヨーク3の外側)には、熱伝導係数の高い材料、例えば、アルミニュームや銅で形成された熱伝導体6がヨークに密着させて配置されている。熱伝導体6は中空の円錐体形状に形成されており、その一部が切り欠かれている。この切り欠かれている部分7は、試料5の傾斜方向であり、切り欠き部7は傾斜した試料5と対向するように設けられている。その結果、熱伝導体6により試料5の傾斜角θが制限を受けないように構成されている。なお、熱伝導体6の上部は、熱容量の大きい部材、例えば、鏡筒8に接触されている。
請求項（抜粋）：
ヨークと励磁コイルとを備え、ヨークの外側の形状が円錐状に形成されている対物レンズであって、ヨークの外側に熱伝導体を設けた走査電子顕微鏡用対物レンズ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J 37/141 A
, H01J 37/141 B
, H01J 37/28 Z
