特許

J-GLOBAL ID：200903007536418547

電子線照射装置

発明者： 徳永 千恵子 ,  山本 顕義 ,  金子 七三雄 ,  中静 民郎
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030778
公開番号（公開出願番号）：特開2004-239819
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】照射対象物の略全面に電子線を照射でき、しかも電子線の照射面積を拡大できる長寿命の電子線照射装置を提供することにある。【解決手段】カソード2とアノード3間に電圧を印加し、照射対象物X1にその発生した電子線B1を照射する電子線照射装置1において、カソード2をカーボンナノチューブを用いて所定形状に形成したものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

カソードとアノード間に電圧を印加し、照射対象物にその発生した電子線を照射する電子線照射装置において、上記カソードをカーボンナノチューブを用いて所定形状に形成したことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (2件)：

G21K5/04 ,  B01J19/12

FI (4件)：

G21K5/04 F ,  G21K5/04 E ,  G21K5/04 S ,  B01J19/12 C

Fターム (17件)：

4G075AA23 ,  4G075AA32 ,  4G075AA70 ,  4G075BA05 ,  4G075BC10 ,  4G075CA39 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EA06 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075EE31 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03 ,  5C030CC10