研磨装置及び研磨方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松尾憲一郎 , 内野美洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-286901
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122255
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】研磨時に被研磨面に作用する研磨力を容易に微調整することができ、これにより、被研磨対象物の被研磨面を精度よく研磨することができる研磨装置及び研磨方法を提供すること。【解決手段】本発明では、被研磨対象物9の被研磨面10の曲率半径よりも小さな曲率半径の球面状の研磨面を有する研磨工具5を変位移動可能なアームの先端に取付け、同アームを研磨工具5の姿勢を保持したまま変位させることによって研磨工具5の研磨面を被研磨対象物9の被研磨面に点接触状態にて押圧しながら被研磨対象物9の被研磨面に沿って移動させ、しかも、研磨工具5の研磨面と被研磨対象物9の被研磨面との押圧力と研磨工具先端部の移動により研磨工具5の研磨面と被研磨対象物9の被研磨面との間で生じる運動摩擦力と粘性摩擦力との合力が所定の研磨力となるようにアームの変位量を制御すべく構成した。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被研磨対象物の被研磨面の曲率半径よりも小さな曲率半径の球面状の研磨面を有する研磨工具を変位移動可能なアームの先端に取付け、同アームを研磨工具の姿勢を保持したまま変位させることによって研磨工具の研磨面を被研磨対象物の被研磨面に点接触状態にて押圧しながら被研磨対象物の被研磨面に沿って移動させ、しかも、研磨工具の研磨面と被研磨対象物の被研磨面との押圧力と研磨工具先端部の移動により研磨工具の研磨面と被研磨対象物の被研磨面との間で生じる運動摩擦力と粘性摩擦力との合力が所定の研磨力となるようにアームの変位量を制御すべく構成したことを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B49/16 , B24B27/00 , B25J13/08

FI (3件)：

B24B49/16 , B24B27/00 A , B25J13/08 Z

Fターム (25件)：

3C007AS12 , 3C007BS10 , 3C007KS22 , 3C007KS34 , 3C007KX06 , 3C007LT06 , 3C007LT11 , 3C007LU05 , 3C007LU08 , 3C007MT04 , 3C034AA19 , 3C034BB91 , 3C034CA16 , 3C034CB01 , 3C034DD07 , 3C058AA13 , 3C058AC02 , 3C058BA02 , 3C058BA05 , 3C058BA07 , 3C058BA13 , 3C058BB02 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058CB04

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-244364
特開昭63-295176
特開昭63-232936

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審査官引用 (6件)

特開平4-244364
特開昭63-295176
特開昭63-232936

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