特許

J-GLOBAL ID：200903007540860025

基板処理装置および基板搬送システム

発明者： 浅見 隆之 ,  原 典彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-361656
公開番号（公開出願番号）：特開2000-185820
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】 装置内での作業を行う際にも安全性を確保し、且つ生産性向上にも寄与する。【解決手段】 接続された装置2に対して基板Pの搬送を行う開口部8を有し、基板Pに所定の処理を行う。開口部8の近傍に設けられ、開口部8を介する基板Pの搬送に関連する動作を規制する規制装置31を備える。

請求項（抜粋）：

接続された装置に対して基板の搬送を行う開口部を有し、前記基板に所定の処理を行う基板処理装置において、前記開口部の近傍に設けられ、前記開口部を介する前記基板の搬送に関連する動作を規制する規制装置を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

B65G 49/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/00 C ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 514 D ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 D

Fターム (25件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031CA20 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031JA02 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031NA09 ,  5F031PA16 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046DA29 ,  5F046DD06 ,  5F046JA22