パターン検査方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179068
公開番号（公開出願番号）：特開平11-073513
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】配線基板や印刷物等多重に重ねられたパターンの検査を同時に行えるパターン検査方法及びその装置を提供することにある。【解決手段】パータン検査装置はラインセンサ10、画像検出部11、検出画像記憶部12、判定部13、良否判定出力部14、基準データ記憶部15、基準データ自動生成部16、照明部17、照明・撮像制御部18、NC駆動部19、NCテーブル20から構成される。画像検出部11は基準基板又は検査基板のような基板21の撮像信号をAD変換して基準パターン画像又は検査パターン画像を検出する。基準データ自動生成部16は基準データ生成条件パラメータに従い、基準パターン画像より基準データを自動生成する。判定部13は検出画像記憶部12に記憶された検査画像データを基準データ記憶部15に記憶されたの基準データと比較し、パターンの欠陥を検出し良否判定を行う。

請求項（抜粋）：

予め、基準パターンより得た基準画像データの画素値範囲により複数のパターン種別に層別し、各パターン種別毎に基準データ生成条件パラメータを設定しておき、次に基準パターンより得た基準画像データを読み出し、該基準画像データの各画素について該画素及び所定の近傍画素の値を前記複数のパターン種別の画素値範囲と比較し、単一のパターン種別の画素値範囲内にあれば該パターン種別の均一部と判別して該パターン種別の基準データ生成条件パラメータに基づき基準データを生成し、また、単一のパターン種別の画素値範囲内でなければ段差部として段差部内側及び外側のパターン種別を判別し、該段差部内側及び/又は外側のパターン種別の基準データ生成条件パラメータに基づき基準データを生成しておき、検査パターンを撮像して得た検出画像データを前記基準データと比較して検査パターンの欠陥を検出することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 , G01B 11/24 , G01N 21/88

FI (4件)：

G06F 15/62 405 A , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K , G01N 21/88 F

前のページに戻る