特許

J-GLOBAL ID：200903007541520422

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 矢野 歩
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-202585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035394
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 高分子の構造解析において、自動化及び理解しやすい表示を実現する。【解決手段】 STM1からの所定範囲の走査領域のデータを画像メモリ3に取り込む。その走査領域のデータの内、最初の走査領域のデータをパターン認識部5でパターンメモリ部7のパターン群と照合しながら走査する。パターンメモリ部7に記憶されたパターン群に類似するパターン群が認識された場合は、そのパターン群を象徴する記号に変換して保存する。このとき、原画像も保存しておく。画像メモリ3に未走査の領域がある場合は次の走査領域を走査する。画像メモリ3のデータを走査し終えると、パターン認識部5に保存された原画像、保存した象徴する記号を分子構成要素の空間配列の位相結合関係に配慮しながら表示したパターン認識画像、及び構造解析結果を表示する。

請求項（抜粋）：

探針に試料を接近させ、探針と試料との距離を制御して探針と試料との間に作用する物理量を一定に保ちつつ、試料表面に沿わせて探針を走査し、走査位置及びその走査位置における前記距離の制御量から試料表面の凹凸を検知して、試料の表面像を表示する走査型プローブ顕微鏡において、種々の分子構成要素のパターン群が記憶されているパターンメモリ部と、前記パターンメモリ部のパターン群に基づいて前記表面像のパターン群を分子構成要素として認識するパターン認識部と、そのパターン認識部で認識された分子構成要素の空間配列をそれぞれ象徴する記号で表示する表示部と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/12 ,  G01N 13/16 ,  G01B 7/34

FI (3件)：

G01N 37/00 B ,  G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z

Fターム (7件)：

2F063AA43 ,  2F063BA30 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07