光学性能測定方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185260
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010850
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】[目的] 被検光学計のMTFを高精度に測定する。[構成] 被検光学系の透過波面収差を測定する干渉計部2と、被検光学系のフレア率を測定するフレア測定部3と、前記透過波面収差から被検光学系のMTFを算出し、このMTFと前記フレア率とからフレア率を考慮したMTFを算出する演算部4と、この演算部で算出されたMTFを表示する表示部5とを備えて測定装置1を構成する。演算部4が式M=2×M0/(2+E×(1+M0))により被検光学系のフレア率を考慮したMTF値(M)を算出するため、高精度に測定できる。

請求項（抜粋）：

被検光学系の透過波面収差から被検光学系のMTF値M0を測定すると共に、前記被検光学系のフレア率Eを測定し、式M=2×M0/(2+E×(1+M0))によりフレア率を考慮したMTF値Mを算出することを特徴とする光学性能測定方法。

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