特許
J-GLOBAL ID：200903007558676221
無電解ニッケルめっき用パラジウム触媒液およびこれを用いた無電解ニッケルめっき方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323019
公開番号（公開出願番号）：特開平5-156457
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】絶縁物上へのパラジウム吸着を抑制し、ニッケルのラインからのはみ出し析出を1μm以下に抑え、微細パターンの電気信頼性を大幅に向上させること【構成】パラジウム化合物とアンモニア化合物を塩酸とクエン酸塩で構成されるpH3.0〜4.5の緩衝液に溶解反応させて得られる無電解ニッケルめっき用パラジウム触媒液、および、この無電解ニッケルめっき用パラジウム触媒液で処理し、水洗し、無電解ニッケルめっきを行うこと
請求項（抜粋）：
パラジウム化合物とアンモニア化合物を、塩酸とクエン酸塩で構成されるpH3.0〜4.5の緩衝液に溶解してなることを特徴とする無電解ニッケルめっき用パラジウム触媒液。
IPC (3件)：
C23C 18/30
, C23C 18/32
, H05K 3/18
