特許

J-GLOBAL ID：200903007569657490

基板の平坦化機能を有する検査装置

発明者： 中村 達哉
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206297
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055207
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】従来、ディスプレイ用のガラス基板は、熱処理を加えたり、金属薄膜など膨張率の異なる薄膜を基板上に形成しているため、ガラス基板の端面が反ったり捻れが生じたりしており、正確な検査が実施できない。【解決手段】本発明は、ガラス基板7の反り状態を検出する距離検出センサ26と、コンプレッサ27からの空気を吐出するノズル22と、距離検出センサ26により反りが検出された際にノズル22から空気が吐出されるようにバルブ28を開閉する制御部29とで構成され、距離検出センサ26により検出された距離データの変化により、ガラス基板7に生じた反り上がりの状態(反り量)を把握し反りが生じているガラス基板7の先端部分が撮像位置に達する直前に、ノズル22から空気を吐出して、反りを空気の圧力により基板ステージ9側に押し付けて平坦化させる基板の平坦化機能を有する検査装置である。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

検査領域に存在する基板の反り部分又は捻れた部分に気体を吹き付けて、検査期間中には上記基板の反り又は捻れた部分を補正して、検査を行う基板の平坦化機能を有する検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13

FI (3件)：

G01N21/88 Z ,  G01M11/00 T ,  G02F1/13 101

Fターム (15件)：

2G051AA42 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA20 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA13 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  5C012AA05 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03