特許
J-GLOBAL ID：200903007571450666
ウェハ収納ケース
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235589
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082789
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 ウェハの操作が安全かつ作業効率良く行なうことができ、複数個のウェハを安全に梱包して搬送できるウェハ収納ケースを提供する。【解決手段】 ウェハ収納ケース1の表面4にウェハ収納部2および切り欠き溝3を有し、ウェハ収納ケース1の裏面5にリング状凸部7および回転防止用凸部8aを有するものである。そして、ウェハ収納部2にリング状凸部7を挿入するとともに、切り欠き溝3に回転防止用凸部8aを挿入してウェハ収納ケース1を積層すれば、ウェハ収納部2に収納されたウェハ9の外縁周部がリング状凸部7により僅かな隙間を有する状態となりウェハ9がウェハ収納部2内で揺動することがなく、ウェハ収納ケース1が互いに回動することもない。【効果】 ウェハを安全かつ作業効率良く操作することができ、ウェハ収納部に収納されたウェハが損傷したりウェハ表面に埃が付着する虞れがない。
請求項（抜粋）：
互いに平行な表面と裏面を有し、さらに側面を有するウェハ収納ケースであって、前記表面に形成されるとともに、前記表面と平行な底面を有するウェハ収納部と、前記ウェハ収納部よりも深く、前記側面から前記ウェハ収納部の前記底面にかけて延在する、少なくとも一個の切り欠き溝と、前記裏面に形成されるリング状凸部と、を有することを特徴とする、ウェハ収納ケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 U
, B65D 85/38 R
