特許

J-GLOBAL ID：200903007576014791

190nm〜250nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材

発明者： 相田 紳治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314063
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149812
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】大気中に放置又は保管しても経時的に分光特性が変化しない光学部材を提供する。【解決手段】190nm〜250nmの波長領域用の光学薄膜が形成された基板の最上層に膜厚が1nm〜10nmの疎水性保護膜が形成されてなる190nm〜250nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材。

請求項（抜粋）：

190nm〜250nmの波長領域用の光学薄膜が形成された基板の最上層に膜厚が1nm〜10nmの疎水性保護膜が形成されてなる190nm〜250nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材。

IPC (5件)：

F21V 7/22 ,  B05D 5/00 ,  G02B 1/11 ,  G02B 1/10 ,  H01S 3/02

FI (5件)：

F21V 7/22 Z ,  B05D 5/00 Z ,  G02B 1/10 A ,  G02B 1/10 Z ,  H01S 3/02 Z