不活性ガスの精製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-319330
公開番号（公開出願番号）：特開2004-149393
出願日： 2002年11月01日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】不活性ガスに不純物として含まれる酸素、二酸化炭素、及び水の除去能力が高く、不活性ガス中に含まれている微量の前記不純物を極めて低濃度になるまで除去できるとともに、繰返して精製剤の再生を行なっても不純物の除去能力が低下することなく、高純度不活性ガスを連続して容易に供給できる不活性ガスの精製方法を提供する。【解決手段】不活性ガスを、(1)酸化マンガンと、(2)酸化バナジウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化ビスマス、酸化ニオブ、酸化タンタルから選ばれる1種以上の金属酸化物を有効成分として含む精製剤と接触させ、好ましくはさらに合成ゼオライトと接触させて、不活性ガスに含まれる酸素、二酸化炭素、及び水を除去する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

不活性ガスを、酸化マンガンと、酸化バナジウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化錫、酸化ジルコニウム、酸化ビスマス、酸化ニオブ、及び酸化タンタルから選ばれる1種以上の金属酸化物を有効成分として含む精製剤と接触させて、該不活性ガスに含まれる酸素、二酸化炭素、及び水から選ばれる1種以上の不純物を除去することを特徴とする不活性ガスの精製方法。

IPC (8件)：

C01B21/04 , B01D53/02 , B01D53/04 , B01D53/28 , B01J20/06 , B01J20/30 , B01J20/34 , C01B23/00

FI (10件)：

C01B21/04 G , B01D53/02 Z , B01D53/04 G , B01D53/28 , B01J20/06 B , B01J20/30 , B01J20/34 F , C01B23/00 C , C01B23/00 H , C01B23/00 P

Fターム (44件)：

4D012BA01 , 4D012BA02 , 4D012CA01 , 4D012CA03 , 4D012CA20 , 4D012CB12 , 4D012CB16 , 4D012CB17 , 4D012CD01 , 4D012CE03 , 4D012CF08 , 4D012CG01 , 4D052AA03 , 4D052CE00 , 4D052DA03 , 4D052DA06 , 4D052DB01 , 4D052GA04 , 4D052GB11 , 4D052GB12 , 4D052HA00 , 4D052HA03 , 4G066AA12B , 4G066AA21B , 4G066AA23B , 4G066AA24B , 4G066AA25B , 4G066AA26B , 4G066AA27B , 4G066AA61B , 4G066BA23 , 4G066BA26 , 4G066BA36 , 4G066BA42 , 4G066CA35 , 4G066CA37 , 4G066CA43 , 4G066DA05 , 4G066FA03 , 4G066FA05 , 4G066FA27 , 4G066FA37 , 4G066GA01 , 4G066GA06

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