特許

J-GLOBAL ID：200903007584953071

感光性樹脂組成物およびレジストの製造法

発明者： ▲こい▼渕 滋 ,  加藤 幸治 ,  佐々木 守 ,  布村 昌隆 ,  粕谷 圭 ,  橋本 通晰 ,  磯部 麻郎
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154601
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027426
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ水溶液可溶性ノボラック樹脂(A)と下記一般式(I)等【化1】(ただし、式中のDは、1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-5-スルホニル基(または4-スルホニル基)等を意味し、Dの少なくとも1つは1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-5-スルホニル基(または5-スルホニル基である)で表される感光剤(B)とを重量比で(A)/(B)=90/10〜75/25の範囲で含有し、(A)および(B)の100重量部に対して下記一般式(II)で表される紫外線吸収剤(C)を0.1〜10重量部の範囲としてなる感光性樹脂組成物。【化2】(ここでR1はHまたはCnH2n+1、R2はHまたはCkH2k+1、R3はHまたはハロゲン原子を表わし、R1とR2は同一でも異なってもよい)【効果】 本発明の感光性樹脂組成物は、感度および残膜率が良好で、かつこれによって現像後に得られるレジストは断面形状が矩形状となる。

請求項（抜粋）：

アルカリ水溶液可溶性ノボラック樹脂(A)と下記一般式(I)、(II)もしくは(III)【化1】【化2】【化3】(ただし、式中のDは、水素原子、1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-5-スルホニル基または1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-4-スルホニル基を意味し、Dの少なくとも1つは1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-5-スルホニル基または1,2-ナフトキノン-(2)-ジアジド-5-スルホニル基である)で表される感光剤またはこれらの感光剤の混合物(B)とを重量比で(A)/(B)=90/10〜75/25の範囲で含有し、(A)および(B)の100重量部に対して下記一般式(IV)で表される紫外線吸収剤(C)を0.1〜10重量部の範囲としてなる感光性樹脂組成物。【化4】(ここでR1はHまたはCnH2n+1(nは1〜10の整数)、R2はHまたはCkH2k+1(kは1〜10の整数)、R3はHまたはハロゲン原子を表わし、R1とR2は同一でも異なってもよい)

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027