特許
J-GLOBAL ID：200903007598649243
高周波負イオン源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213708
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042099
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】 大電力放電が可能で、しかも、負イオンの生成効率の高い高周波負イオン源を提供すること。【解決手段】 本発明の高周波負イオン源40は、放電容器1と、放電容器1を真空に排気する手段と、放電容器1に放電のための原料ガスを供給する手段11とを備える。放電容器1の内部には、複数の誘導アンテナ10が設けられ、各誘導アンテナ10には、放電容器1内に放電プラズマを生成するための高周波電圧を各誘導アンテナ10に供給する高周波電源32が接続される。放電容器1の壁面には、負イオン加速用の加速電極4が形成され、加速電極には、放電プラズマから負イオンを引き出すためビーム引き出し孔5が設けられている。
請求項（抜粋）：
放電容器と、放電容器を真空に排気する手段と、放電容器に放電のための原料ガスを供給する手段と、放電容器内部に設けられた複数の誘導アンテナと、各誘導アンテナに接続され、放電容器内に放電プラズマを生成するための高周波電圧を各誘導アンテナに供給する高周波電源と、放電容器の壁面に形成された負イオン加速用の加速電極と、放電プラズマから負イオンを引き出すために加速電極に設けられたビーム引き出し孔と、を備えたことを特徴とする高周波負イオン源。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G21K 5/04 D
, G21K 5/04 F
, H05H 1/24
