特許

J-GLOBAL ID：200903007601672731

ポジ型感光性組成物

発明者： 米山 宣明 ,  田中 公章
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100716
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287391
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 長期保存により異物が析出しない微細なパターン形成可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂とキノンジアジド系感光性化合物(I)及び該(I)とは異なるキノンジアジド系感光性化合物(II)とを溶剤に溶解させたポジ型フォトレジスト組成物であって、該キノンジアジド系感光性化合物(II)が、?@一般式(1)(R1〜R7:それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子等、であり、R8:水素原子、炭素数1〜4のアルキル基等、である。)で表されるフェノール化合物と、?A前記?@とは異なるフェノール誘導体と、?Bアルデヒド誘導体との縮合体混合物のフェノール性水酸基の少なくとも一部がキノンジアジドスルホン酸エステル化されたものであることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド型化合物を含有する感光性組成物が加温処理されたものであることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027