特許

J-GLOBAL ID：200903007609025107

Bi-Sr-Ca-Cu-O系超電導薄膜及びその製造方法

発明者： 久保田 伸彦 ,  杉本 常実 ,  塩原 融
出願人/特許権者： 財団法人国際超電導産業技術研究センター ,  石川島播磨重工業株式会社 ,  宇部興産株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-294798
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】 ジョセフソン接合デバイス、三端子デバイス等の作製に好適な、基板面に対して(110)面を選択的に成長配向させたBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導膜及びその製造方法を提供する。【構成】 MgO [110] 単結晶よりなる基板に、成膜されたBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導膜であって、基板面に対して(110)面が選択的に成長しているBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導膜。上記基板に、化学的気相成長法により成膜する。【効果】 化学的気相成長法によりジョセフソン接合デバイス、三端子デバイス等に極めて有効なBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導膜が提供される。

請求項（抜粋）：

MgO [110] 単結晶よりなる基板に化学的気相成長法により成膜されたBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導薄膜であって、該基板面に対して(110)面が選択的に成長しているBi-Sr-Ca-Cu-O系超電導薄膜。

IPC (5件)：

C30B 29/22 501 ,  C01G 1/00 ZAA ,  H01B 12/06 ZAA ,  H01B 13/00 565 ,  H01L 39/24 ZAA

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-097403