特許

J-GLOBAL ID：200903007612438269

照明光学系

発明者： 長山 匡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132395
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321022
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 送光自由度が高く、簡便な構成でありながら、均一な照度分布が得られる照明光学系を得る。【構成】 平行光束供給手段と、該供給手段からの平行光束を被照明物体側へ導くライトガイドをの入射端との間に平行光束を拡散させる拡散手段を設け、平行光束が拡散手段を入射する方向と直交する平面に対しライトガイドの入射端面が所定の角度傾斜するように配置した照明光学系。また、傾斜角度θが4°≦θ≦10°を満足するものとした。

請求項（抜粋）：

平行光束を供給する平行光束供給手段と、該平行光束供給手段からの平行光束を被照明物体側へ導くライトガイドを有する照明光学系において、前記平行光束供給手段と前記ライトガイドの入射端との間に、前記平行光束を拡散させる拡散手段を設け、前記平行光束が前記拡散手段を入射する方向と直交する平面に対し前記ライトガイドの入射端面が所定の角度傾斜するように配置されることを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/54 ,  H01S 3/101

FI (2件)：

H01L 21/30 525 D ,  H01L 21/30 525 G

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭62-144118
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-183027   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-277206
  
• 特開昭58-105202
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-144118
  
• 特開昭62-144118
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-183027   出願人：株式会社ニコン