特許
J-GLOBAL ID：200903007619084187
半導体圧力検出器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006269
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209115
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 気密部を2室設けることなく1室のみの液封構造とし、気密封止を良好に行った半導体圧力検出器を提供する。【構成】 圧力に応じた電気信号を出力する感圧素子5と共働する処理回路を構成する回路基板10と、ボンディングワイヤ12と、感圧素子5と外部との間で信号の授受を行うピン2aおよび2bと、凹部を有してこの凹部にピン2aと2bの各ー端を保持し封入液13を封入する封入孔1bを設けたコネクタハウジング1と、外部からの圧力を導く圧力導入孔3bを有して、封入液13の漏泄を阻止して圧力導入孔3bからの圧力を受圧してこの封入液13に伝達する摺動自在なシールダイヤフラム7を備えた本体ハウジング3とを備える。そして、コネクタハウジング1と本体ハウジング3との接合面、ピン2a、2bの各ー端が開設される凹部の溝上面、封入液13封入後の封入孔1bの各部を気密封止する。
請求項（抜粋）：
圧力伝達媒体を気密封止する圧力検出室を有するハウジングと、圧力に応じた信号を出力する感圧素子と、該感圧素子に電気的に接続し共働する処理回路と、該処理回路を介して前記感圧素子と外部との間で信号の授受を行う信号伝達手段とを備え、前記感圧素子と前記処理回路を前記圧力検出室内に設け、該感圧素子と該処理回路に電気的接続する前記信号伝達手段を前記ハウジング内部で保持して前記感圧素子と前記外部との間で信号の授受を行うことを特徴とする半導体圧力検出器。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
