特許
J-GLOBAL ID：200903007622395924
データ解析システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-152954
公開番号（公開出願番号）：特開平5-035745
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【構成】外観検査データ1と分析データ2と工程装置対応データ3と装置メンテナンスデータ4を持ち、外観検査データ1と分析データ2と装置メンテナンスデータ3にはそれぞれの作業を行った日時と工程を必ず持たせる。また、外観検査データ1と分析データ2、外観検査データ1と装置メンテナンスデータ3を照合、解析する手段を持つ。【効果】外観検査データと分析データと装置メンテナンスデータにそれぞれの作業を行った日時と工程を持たせたため、外観検査データと分析データ、外観検査データと装置メンテナンスデータを解析すること、外観不良の発生原因を解析することが容易になった。
請求項（抜粋）：
薄膜製品の品質管理を行うシステムにおいて、ワークの外観検査結果に外観検査を行った工程と日時を併記して記録し、外観不良の成分の分析結果に分析を行った工程と日時を併記して記録し、装置のメンテナンス記録にメンテナンスを行った装置名とメンテナンスを行った日時を併記して記録し、各工程を構成する装置の一覧表を記録することを特徴とするデータ解析システム。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
