特許
J-GLOBAL ID：200903007624504909
露光方法及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055696
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256119
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 傾斜情報の再現性良く被露光基板のレベリングを行うことができて適正なレベリングを達成でき、仮にショットの中心等にパターン不良等の不具合があっても正確な傾斜情報を得られ、理想値により近づいたレベリングを実現できる露光方法及び露光装置を提供する。【解決手段】 フォーカスセンサーFSにより得られるフォーカスデータに基づいて被投影基板のレベリングを行うとともに、1ショットの被露光部分10における複数のポイントSP11〜SP55でフォーカスデータを得、他のショットの被露光部分11〜18における複数のポイントでのフォーカスデータを参照して、各ショットの傾斜量を算出し、これに基づいて被投影基板のレベリングを行う。
請求項（抜粋）：
被投影基板の複数のショット位置に露光を行う露光方法において、フォーカスセンサーにより得られるフォーカスデータに基づいて被投影基板のレベリングを行うとともに、1ショットの被露光部分における複数のポイントでフォーカスデータを得、かつ、他のショットの被露光部分における複数のポイントでのフォーカスデータを参照して、各ショットの傾斜量を算出し、これに基づいて被投影基板のレベリングを行うことを特徴とする露光方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 526 B
, G03F 7/207 H
