特許

J-GLOBAL ID：200903007625758416

表面弾性波素子およびその製造方法

発明者： 鹿田 真一 ,  中幡 英章 ,  八郷 昭広 ,  藤森 直治
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252684
公開番号（公開出願番号）：特開平5-199057
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 耐マイグレーション特性に優れ、信頼性が高く、電極のサイズをより小さくすることによって、より高い周波数域で作動できるようにした表面弾性波素子を提供する。【構成】 圧電体3と、圧電体3に密着するくし型電極2a、2bとを備え、かつ、くし型電極2a、2bが集束イオンビームを用いてAuから形成されることを特徴とする表面弾性波素子。

請求項（抜粋）：

圧電体と、前記圧電体に密着するくし型電極とを備える表面弾性波素子において、前記くし型電極が集束イオンビームを用いて形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。