特許

J-GLOBAL ID：200903007631716083

形状測定方法、形状測定装置、制御プログラム、及び記憶媒体

発明者： 榊 隆
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305106
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106824
出願日： 2001年10月01日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 プリント基板上に搭載される電気回路部品等の測定対象物に対して、ミクロンオーダーの変位量の測定が可能になる形状測定方法等を提供する。【解決手段】 非接触三次元測定装置を用い、測定対象物の各測定点で順次オートフォーカスを実行して、焦点が合う合焦状態となるフォーカス位置での高さ測定を行う形状測定方法において、前記測定対象物の測定点において最終的に必要とされる精度を測るための最終測定倍率でオートフォーカスを実行して合焦状態を判定する第一の行程と、前記第一の行程で非合焦状態となった場合には、前記最終測定倍率よりも低い倍率で前記測定対象物を測定して得られた参照測定データを用いてオートフォーカスを実行して、合焦状態となるフォーカス位置を検出する第二の行程とを備えた。

請求項（抜粋）：

非接触三次元測定装置を用いて、所定の測定倍率で測定対象物の形状を測定する形状測定方法において、前記所定の測定倍率よりも低い倍率で前記測定対象物を測定して得られた参照測定データを用意しておき、前記参照測定データを参照しつつ前記所定の測定倍率による測定を行うことを特徴とする形状測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  H01L 21/60 321

FI (4件)：

G01B 11/00 A ,  G01B 11/02 Z ,  H01L 21/60 321 Y ,  G01B 11/24 A

Fターム (28件)：

2F065AA01 ,  2F065AA02 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA53 ,  2F065AA65 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065CC28 ,  2F065DD03 ,  2F065DD10 ,  2F065FF10 ,  2F065FF26 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065PP12 ,  5F044KK01 ,  5F044LL01