特許
J-GLOBAL ID:200903007635899727
光起電力素子の検査方法及び検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
河野 登夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-072764
公開番号(公開出願番号):特開2000-269526
出願日: 1999年03月17日
公開日(公表日): 2000年09月29日
要約:
【要約】【課題】 非接触での検査が可能であって、膜損傷を発生させることがなく、しかも、検査時間が短い光起電力素子の検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】 隣合う光起電力素子20の表面電極13から所定距離(1000μm以下)隔てて対向電極1を対向配置し、対向電極1と表面電極13との間で空気を誘電体とするコンデンサを形成し、対向電極1に誘起される電位を電位検出計2にて検出する。隣合う光起電力素子20,20間でのこのような誘起電位の差(ΔV)を開放電圧として測定する。
請求項(抜粋):
表面に電極を有する光起電力素子を検査する方法において、前記電極に空間を介して対向する対向電極を設け、前記電極と該対向電極との間でコンデンサを形成し、前記対向電極に誘起される電位を検出することを特徴とする光起電力素子の検査方法。
Fターム (2件):
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭59-020870
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特開平4-315447
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特開平2-216844
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