特許
J-GLOBAL ID：200903007644455785
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285675
公開番号（公開出願番号）：特開平6-139988
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【構成】散乱電子検出器の形状を写真機のレンズ内の絞りに使われているように二辺がそれぞれ別な放物曲面をもつ同一形状の三角形状検出器を3枚以上組み合わせ、それぞれの三角形状検出器をそれぞれが持つ固定点を中心に回転させることで穴径を変化させる構成である。【効果】本発明によれば、散乱電子線の検出領域を変化させるために必要であった電子レンズが不要となることと、合わせて検出器に対する煩雑な光軸合わせが不要となる効果がある。また、散乱電子をメインビームからの散乱角に応じて任意の割合で分割して同時に検出することが可能になる効果がある。
請求項（抜粋）：
電子線を発生する電子銃部と該電子線を拡大または縮小し、試料に照射する照射系と電子線を偏向させる偏向系と、それらの光軸上に置かれた試料の像を観察する手段を持つ電子顕微鏡において、散乱電子検出領域の可変機構を持つ検出器を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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