特許
J-GLOBAL ID：200903007649503648
チャンバ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001128
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200755
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 枚葉式のロードロック室を複数備えたロードロック装置のタクトタイムを短縮する。【解決手段】 枚葉式ロードロック室8、9を上下に複数段配置する。複数のロードロック室8、9に真空排気配管17、18を取り付ける。上段ロードロック室8に取り付けた上段排気配管17を、最短距離で配管するために、下段ロードロック室9を貫通して底板13から装置外部に取り出す。下段ロードロック室9に接続した下段排気配管18はダイレクトに底板13から装置外部に取り出す。下段ロードロック室9の底板13から取り出したロードロック室8、9の全排気配管17、18を排気ポンプに通じるマニホールド7に接続し、各ロードロック室8、9の排気配管17、18に真空バルブ4、6を取り付け、真空バルブ4、6を交互に切替えて、ロードロック室8、9毎に枚葉操作ができるようにする。
請求項（抜粋）：
枚葉式チャンバを上下に複数段配置し、上記枚葉式チャンバに個別に取り付けた真空排気系の全てを、最上段の枚葉式チャンバの上部または最下段の枚葉式チャンバの底部から取り出すために、最上段または最下段以外の枚葉式チャンバの真空排気系が他の枚葉式チャンバを貫通しているチャンバ装置。
Fターム (11件)：
5F045AE01
, 5F045DP19
, 5F045EB02
, 5F045EB08
, 5F045EB12
, 5F045EB17
, 5F045EC01
, 5F045EC08
, 5F045EG02
, 5F045EG05
, 5F045EN04
