プロセス制御モデルの定義方法およびプロセス制御モデル定義プログラム並びにプロセス制御方法およびそのシステム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-139823
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334135
出願日： 2001年05月10日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】製造ショップの構成要素や既存のデータベースなどのシステムの各パラメータと対応付けてプロセス制御モデルを定義することにより、既存システムと一貫したプロセス制御システムを早期に構築することができるプロセス制御モデルの定義方法およびそのプログラムなどを提供することにある。【解決手段】製造ショップの構成および製造システムにおけるデータベースの構成を考慮し、設備運転シーケンスおよびプロセス制御モデルを定義する。プロセス制御モデルの各パラメータをデータベースもしくはレシピの各パラメータと対応付け、プロセス制御モデルに基づき事前に製造ショップを評価する。さらに、プロセス制御モデルに基づきレシピを決定し、各製造設備を運転することで、既存システムと一貫したプロセス制御システムとなる。

請求項（抜粋）：

所望のプロセス制御モデルのタイプにおいて被加工物の品種に応じて各プロセスとその処理手順を表すプロセスフローを指定する第1のステップと、該第1のステップで指定されたプロセスフローにおける各プロセスで使用する製造ラインまたは製造ショップにおける各製造設備/備品の使用順序と使用時間とからなる各制御シーケンスを指定する第2のステップとを有し、前記製造ラインまたは製造ショップにおける設備群制御システムまたは着工指示システムによって各製造設備へ提供されるプロセス処理内容を表すプロセス制御モデルを定義することを特徴とするプロセス制御モデルの定義方法。

IPC (4件)：

G06F 17/60 106 , G05B 17/02 , G05B 19/418 , G06F 19/00 110

FI (4件)：

G06F 17/60 106 , G05B 17/02 , G05B 19/418 Z , G06F 19/00 110

Fターム (18件)：

3C100AA05 , 3C100AA43 , 3C100BB12 , 3C100BB13 , 3C100BB14 , 3C100CC02 , 3C100EE06 , 5H004GA30 , 5H004GB01 , 5H004GB10 , 5H004GB20 , 5H004HA06 , 5H004KA80 , 5H004KC28 , 5H004KC32 , 5H004KC39 , 5H004LA16 , 5H004LA18

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