特許
J-GLOBAL ID:200903007659946700
ナノ熱量計デバイス及び関連する製造及び使用方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
松本 研一
, 小倉 博
, 伊藤 信和
, 黒川 俊久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-139266
公開番号(公開出願番号):特開2005-331514
出願日: 2005年05月12日
公開日(公表日): 2005年12月02日
要約:
【課題】 基本的にナノスケールの寸法に限定される材料の熱力学的特性及び他の物理的特性を測定し特徴付けるよう動作可能なナノ熱量計デバイス(10)を提供する。【解決手段】 ナノ熱量計デバイス(10)は、第1の表面(14)と第2の表面(16)とを有する薄膜メンブレン(12)を含む。フレーム構造(18)は、薄膜メンブレン(12)の第1の表面(14)に隣接し且つ熱的に接触して配置する複数の中空セル(24、26)を定める。薄膜メンブレン(12)の第2の表面(16)に隣接し且つ熱的に接触して配置される1つ又はそれ以上のマイクロ加熱素子(28)の位置は、薄膜メンブレン(12)の第1の表面(14)に隣接して定められた複数の中空セル(24、26)の位置にほぼ対応する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基本的にナノスケールの寸法に限定される材料の熱力学的特性及び他の物理的特性を測定し特徴付けるよう動作可能なナノ熱量計デバイス(10)であって、
第1の表面(14)と第2の表面(16)とを有する薄膜メンブレン(12)と、
前記薄膜メンブレン(12)の第1の表面(14)に隣接し且つ熱的に接触して配置され、前記薄膜メンブレン(12)の第1の表面(14)に隣接し且つ熱的に接触して配置する複数の中空セル(24、26)を定めるフレーム構造(18)と、
前記薄膜メンブレン(12)の第2の表面(16)に隣接し且つ熱的に接触して配置され、前記薄膜メンブレン(12)の第1の表面(14)に隣接して定められた前記複数の中空セル(24、26)の位置にほぼ対応する位置にある1つ又はそれ以上のマイクロ加熱素子(28)と、
を備えるナノ熱量計デバイス(10)。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N25/20 A
, G01K17/00 Z
Fターム (7件):
2G040AA00
, 2G040AB08
, 2G040AB12
, 2G040CA02
, 2G040EA01
, 2G040EC09
, 2G040HA05
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