特許
J-GLOBAL ID：200903007660529381
赤外線センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322816
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178741
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 機械的強度に優れ、検出感度の高い赤外線センサを提供することを目的とする。【構成】 基板には四角錐台の凹部が形成される。凹部の底面中央部には、底面から基板表面に向かってすぼまる八角錐台状の支持部が基板と一体に設けられる。また、基板表面には絶縁膜が形成されており、この絶縁膜には表裏面を貫通する、開口形状が等脚台形である四つの開口部が設けられる。四つの開口部は、等脚台形の平行する長辺が凹部の開口縁の中央部に位置するように、また短辺が支持部側となるように配設される。この結果、凹部の中央部には、支持部によって中央を支持された検知部絶縁層が形成される。この検知部絶縁層の表面には、検出部が形成される。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に設けられた凹部と、該凹部の底面中央部に立設した支持部と、該支持部の頭部表面に支持された検知部絶縁層と、該検知部絶縁層の周辺に配設された開口部と、該開口部をはさんで前記基板の表面に形成された基板絶縁層と、該基板絶縁層と前記検出部絶縁層を一体に接続する接続部絶縁層と、前記検知部絶縁層上に形成された検出部とからなる赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01V 8/12
