特許

J-GLOBAL ID：200903007660877614

液晶表示パネルの異物検査装置

発明者： 西條 豊
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-333302
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170102
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

液晶表示パネルがノーマリホワイト方式の液晶表示パネルであっても、プローバを駆動させることなく、異物の検査を行うことを可能とした液晶表示パネルの異物検査装置を提供すること。【解決手段】液晶表示パネルの裏面から、液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源と、この液晶表示パネルの偏光板の接合面または液晶部に焦点位置を合わせた1対の検出器と、この検出器によって測定される光の強度に関する情報を用いて液晶表示パネルに含まれる異物の有無およびその平面位置と深さ位置を検出する演算処理部とを有しており、かつ、前記検出器を、光源から照射される光を直接見こまない位置に配置し、さらに、前記1対の検出器のうち一方の検出器の受光部に、検査対象の液晶表示パネルに張り合わされている偏光板と同じ偏光面を有する偏光板を設ける。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

液晶表示パネルの裏面から、液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源と、この液晶表示パネルの偏光板の接合面または液晶部に焦点位置を合わせた1対の検出器と、この検出器によって測定される光の強度に関する情報を用いて液晶表示パネルに含まれる異物の有無およびその平面位置と深さ位置を検出する演算処理部とを有する液晶表示パネルの異物検査装置において、 前記検出器を、光源から照射される光を直接見こまない位置に配置し、かつ、前記1対の検出器のうち一方の検出器の受光部に、検査対象の液晶表示パネルに張り合わされている偏光板と実質的に直交する偏光面を有する偏光板をとりつけたことを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示パネルの異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G02F1/13

FI (3件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 T ,  G02F1/13 101

Fターム (21件)：

2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G086EE10 ,  2H088FA12 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088HA18 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20