特許

J-GLOBAL ID：200903007662516694

光透過性板材の欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者： 内村 清一 ,  金島 敬之介 ,  植田 秀司 ,  二村 高広
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320173
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159615
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 光透過性板材の被検査領域全面に対して能率的に欠陥検査が行え、特に大面積の光透過性板材に対する欠陥検査が簡単かつ正確に行えるようにする。【解決手段】 板材支持手段3は、光透過性板材6の被検査領域を含む裏面に当接して板材6を支持する支持部材30、32を有する。撮像手段22、24は、板材6の表面側に配置され板材6の被検査領域を撮像する。照明手段は、板材6の裏面側に配置される。一時退避手段30aは、板材6のうち支持部材30の当接個所の表面を撮像手段22、24で撮像する際に、当接個所の支持部材30を撮像位置から一時的に退避させて別の個所で前記板材6を支持させる。

請求項（抜粋）：

光透過性板材の裏面から光を当てた状態で表面から撮像して前記板材の欠陥を検査する装置であって、前記板材の被検査領域を含む裏面に当接して前記板材を支持する支持部材を有する板材支持手段と、前記板材の表面側に配置され前記板材の被検査領域を撮像する撮像手段と、前記板材の裏面側に配置される照明手段と、前記板材のうち支持部材の当接個所の表面を前記撮像手段で撮像する際に、前記当接個所の支持部材を撮像位置から一時的に退避させて別の個所で前記板材を支持させる支持部材の一時退避手段とを備える光透過性板材の欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01N 21/88 D ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-198854
  
• 特開昭63-198854