特許
J-GLOBAL ID：200903007664411040
光照射装置及びこれを用いた受光素子検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-374845
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207487
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】光源の交換等を行った場合でも厳密な光軸調整等を改めて行う必要がないようにする。【解決手段】主光源部21より発せられた光が第1光学系24において平行かつ強度が均一な光にされるとともに、複数の光源(発光ダイオード)27を有してなる補助光源部25より発せられた光が第2光学系30において平行な光にされる。第1光学系24を通った主光源部21からの光と第2光学系30を通った補助光源部25からの光とは第3光学系31において合成され、その合成光が検査光として検査面上に導かれる。また、第3光学系31を構成する第2ハーフミラー33は、検査面に至る前の検査光の一部を参照光として取り出し、参照光検出部(二次元CCD)34に受光させる。制御部36は、検査面上の所定領域に対応する参照面上のモニター領域内において参照光の強度が均一となるように各光源27の発する光の強度の制御を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査面上の所定領域内に強度が均一となる検査光を照射する光照射装置であって、
主光源部と、
前記主光源部より発せられた第1の光を平行かつ強度が均一な光にする第1光学系と、
複数の光源を有してなる補助光源部と、
前記補助光源部より発せられた第2の光を平行な光にする第2光学系と、
前記第1光学系を通った前記主光源部からの第1の光と前記第2光学系を通った前記補助光源部からの第2の光とを合成し、合成して得られる光を前記検査光として前記検査面上に導くとともに、前記検査光の一部を参照光として取り出す第3光学系と、
前記第3光学系において取り出された前記参照光の光強度の分布を検出する参照光検出部と、
前記参照光検出部からの信号に基づいて、前記検査面上の前記所定領域に対応する前記参照光検出部の領域内において前記参照光の強度が均一となるように、前記補助光源部を構成する前記各光源の発する光の強度を制御する制御部とを有することを特徴とする光照射装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 X
, H01L21/66 D
, H01L27/14 Z
4M106AA01
, 4M106AB09
, 4M106BA01
, 4M106BA04
, 4M106CA17
, 4M106DH31
, 4M118AA09
, 4M118AB01
, 4M118BA01
, 4M118BA10
, 4M118EA11
, 4M118FA06
