特許
J-GLOBAL ID：200903007666076443
光学部材検査装置,画像処理装置,及び、コンピュータ可読媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290159
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125578
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 検査対象光学部材中に検出された線状の不良要因がキズであるかケバであるかを自動的に判定することができる光学部材検査装置を、提供する。【解決手段】画像メモリ領域62a内に検査対象光学部材14に対応する画像データが合成されると、CPU60は、この画像データから不良要因の画像を一つづつ取り出し、取り出した個々の不良要因の画像毎に、その不良要因が点状欠点であるか線状欠点であるかを認識する。CPU60は、不良要因が線状欠点であると認識した場合には、さらに、その不良要因がキズであるかケバであるかを認識する。この認識処理において、CPU60は、取り出した画像を細線化した後にチェーン符号化することによってチェーン符号を獲得し、このチェーン符号に基づいて不良要因の広がり度合(S/Smax)及び方向数(不良要因の曲がり度合:D)を調べ、S/Smax<0.1且つD<4の場合のみ当該不良要因がキズであると判定する。
請求項（抜粋）：
検査対象光学部材を撮像して当該検査対象光学部材の像を含む画像データを出力する撮像装置と、この撮像装置から出力された画像データを格納する画像メモリと、この画像メモリに格納されている画像データ中から前記検査対象光学部材の不良要因を示す領域を特定する領域特定手段と、この領域特定手段によって特定された領域に含まれる画像を細線化して、太さ1画素の画素列からなる細線化図形に変換する細線化手段と、この細線化手段によって得られた細線化図形を構成する各画素について、隣接する画素に対する連接方向を示す符号を夫々割り当てるチェーン符号化手段と、このチェーン符号化手段によって前記細線化図形に割り当てられた全符号に基づいて、前記領域に含まれる像の広がり度合を数値化する数値化手段と、前記数値化手段によって得られた数値を所定の判定基準値と比較する比較手段と、この比較手段による比較結果に基づいて、前記領域特定手段によって特定された領域が前記検査対象光学部材のキズ及びケバの何れかを示すのかの認識を行う不良要因種別認識手段とを備えたことを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
