特許
J-GLOBAL ID：200903007668781420
面形状計測方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-230500
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048527
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】ウエハやウエハホルダの面形状をごみや空気のゆらぎ等の影響を軽減或いは無くして計測する。【解決手段】 例えばウエハホルダの平坦度を計測するときには、ステップS11でスーパーフラットウエハ及びウエハホルダの清掃等を行い、ステップS12でスーパーフラットウエハをウエハホルダにセットする。そして、ステップS13でスーパーフラットウエハの各部の高さを計測する。このようなステップS11〜S13を複数回行い、スーパーフラットウエハの同一位置の高さデータをそれぞれ複数個取得し、ステップS16の統計処理で、該スーパーフラットウエハの高さを求めることで、ごみや空気のゆらぎ等の影響を軽減したウエハホルダの平坦度を計測することができる。
請求項（抜粋）：
被検出面に設定された任意数の所定位置の高さデータをそれぞれ計測する高さ計測処理を複数回行い、前記各所定位置ごとに得られた複数個の高さデータに対して統計処理を行って前記被検出面の面形状を求めることを特徴とする面形状計測方法。
Fターム (24件)：
2F065AA24
, 2F065AA47
, 2F065CC17
, 2F065CC19
, 2F065DD11
, 2F065FF44
, 2F065FF61
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL13
, 2F065LL62
, 2F065MM03
, 2F065MM26
, 2F065PP12
, 2F065QQ29
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
, 2F065TT04
