特許

J-GLOBAL ID：200903007677527560

研磨パッドおよび板状材の研磨方法

発明者： 松本 勝博
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187713
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001650
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】研磨欠点が発生しにくく、高い研磨速度が得られる研磨パッドを得る。【解決手段】熱硬化性樹脂シートの研磨パッド1で、荷重1.82MPaにおける熱変形温度が100°C以上であり弾性率が1.5GPa未満であり、吸水率が0.2%未満であり、表面の主要な領域に幅0.5〜5mmの溝2と幅0.5〜5mmのランド3が交互に形成されたことを特徴とする研磨パッドを使用する。

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂シートからなる研磨パッドであって、該熱硬化性樹脂シートはJIS K7207材料試験規格に基づく荷重1.82MPaにおける熱変形温度が100°C以上であり、JIS K7203材料試験規格に基づく弾性率が1.5GPa以上であり、JIS K6911材料試験規格に基づく吸水率が0.2%未満であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  C08J 5/14 CER ,  H01L 21/304 622 ,  C08L 45:00 ,  C08L 65:00

FI (5件)：

B24B 37/00 C ,  C08J 5/14 CER ,  H01L 21/304 622 F ,  C08L 45:00 ,  C08L 65:00

Fターム (13件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  4F071AA21 ,  4F071AF10Y ,  4F071AF20Y ,  4F071DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-248487   出願人：帝人メトン株式会社