特許
J-GLOBAL ID：200903007688860598
ダイシングブレードおよびダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-066942
公開番号（公開出願番号）：特開平7-276244
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 ダイシング対象の板状物におけるダイシング時、あるいはダイシング後における割れや欠損等の欠陥の発生を防止することが可能なダイシングブレードを提供する。【構成】 バインダ等の基材10aの中に、ダイヤモンド粒子などの高硬度の砥粒10bを分散させた原料粉末を所定の成形金型中で加圧して成形した後、所定の温度で焼成し、硬化させて得られるダイシングブレード10において、基材10aの内部における砥粒10bの分布状態を、当該ダイシングブレード10の厚さ方向の中央部において砥粒10bの密度が最大で、表面側に向かって当該密度が漸減する構成とし、ダイシングブレード10における耐摩耗性が、厚さ方向の中央部(断面が略V字形に凸の刃先部11の先端部分)で最大となり、当該先端部分から厚さ方向に両外側に向かって漸減する分布となるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
砥粒を基材中に分散させ、略円盤状に成形してなるダイシングブレードであって、前記砥粒の密度が厚さ方向の中央部で最大となり、表面側に向かって漸減する構造としたことを特徴とするダイシングブレード。
IPC (4件)：
B24D 5/12
, B23Q 17/24
, B24B 49/12
, H01L 21/301
