特許

J-GLOBAL ID：200903007694089313

静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、アクチュエータを用いたインクジェット用ヘッドおよびインクジェット用ヘッドを用いた画像形成装置

発明者： 入野田 貢
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199554
公開番号（公開出願番号）：特開2002-019128
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 駆動電極間の容量が小さく、駆動電極のシート抵抗が低く、完全に絶縁分離された駆動電極であって、材料の選択が制限されない駆動電極を有する静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 本発明は、液滴を吐出するノズル120と、該ノズルに対応して連通する液流路と流体抵抗117が形成され該液流路に接して設けられた振動板112が形成された液室基板と、該液室基板に対し空隙を介在させて対向して設けられ互いに電気的に絶縁分離された駆動電極121が形成された電極基板とで構成される静電アクチュエータであって、前記電極基板に形成された駆動電極に電圧を印加することにより、前記液室基板に形成された前記振動板を静電力により変型させ、変型した前記振動板の反発力により前記ノズルから液滴を吐出し、前記駆動電極上には絶縁体104が形成され、該絶縁体が形成された領域が駆動電圧入力部に形成されている。

請求項（抜粋）：

液滴を吐出するノズルと、該ノズルに対応して連通する液流路と流体抵抗が形成され該液流路に接して設けられた振動板が形成された液室基板と、該液室基板に対し空隙を介在させて対向して設けられ互いに電気的に絶縁分離された駆動電極が形成された電極基板とで構成される静電アクチュエータであって、前記電極基板に形成された駆動電極に電圧を印加することにより、前記液室基板に形成された前記振動板を静電力により変型させ、変型した前記振動板の反発力により前記ノズルから液滴を吐出し、前記駆動電極上には絶縁体が形成され、該絶縁体が形成された領域が駆動電圧入力部に形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (14件)：

2C057AF66 ,  2C057AF67 ,  2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP11 ,  2C057AP31 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14 ,  2C057BA15