特許
J-GLOBAL ID：200903007697547223
ステージ制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-107399
公開番号（公開出願番号）：特開平7-295649
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 よりコンパクトで低消費電力な構成により、応答性を向上させる。【構成】 重力方向に移動可能に設けられた移動ステージ101、前記移動ステージをフィードバック制御により重力方向に位置決めする位置決め制御部118、および前記移動ステージにかかる重力を補償する重力補償制御部119を備え、前記重力補償制御部は、前記移動ステージに対し重力方向の推力を付与する流体シリンダ113と、位置決め制御部における信号に基づき圧力指令信号を出力する圧力指令信号出力手段109,110,111と、前記圧力指令信号に基づき前記流体シリンダ内の圧力を制御する圧力制御手段112とを有する。
請求項（抜粋）：
重力方向に移動可能に設けられた移動ステージ、前記移動ステージをフィードバック制御により重力方向に位置決めする位置決め制御部、および前記移動ステージにかかる重力を補償する重力補償制御部を備え、前記位置決め制御部は、前記移動ステージの位置を検出する位置検出手段と、前記移動ステージを位置決めすべき目標位置の信号を出力する位置指令手段と、前記位置検出手段により検出された前記移動ステージの現在位置と、前記位置指令手段からの目標位置とに基づき駆動信号を出力する駆動信号出力手段と、前記駆動信号に基づき前記移動ステージを重力方向に駆動する駆動手段とを有し、前記重力補償制御部は、前記移動ステージに対し重力方向の推力を付与する流体シリンダと、前記駆動信号もしくはこれに応じて駆動手段内で発生する信号に基づき圧力指令信号を出力する圧力指令信号出力手段と、前記圧力指令信号に基づき前記流体シリンダ内の圧力を制御する圧力制御手段とを有することを特徴とするステージ制御装置。
IPC (4件)：
G05D 3/12 305
, B23Q 15/24
, G05D 3/00
, H01L 21/68
