特許

J-GLOBAL ID：200903007709682873

蒸発材料の安定供給方法

発明者： 福居 康 ,  斎藤 実 ,  土肥 隆司 ,  森山 義輝
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-233247
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053173
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 長期間にわたり一定流量で蒸気を送給し、均一な蒸着めっきを施す。【解決手段】 溶解槽10で蒸発材料13を溶解し、溶解槽10に連結され、真空雰囲気に配置された蒸発槽20に蒸発材料13を供給し、溶解槽10に浸漬したブロック14の浸漬深さにより蒸発槽20内にある蒸発材料13の蒸発面23の高さを調整しながら、蒸発槽20で蒸発した蒸気をシャッター31及びダクト30を経て被めっき基板まで輸送する。ダクト30内に設けた検出計32で蒸気流量を検出し、検出値に基づいて溶解槽10に浸漬したブロック14の浸漬深さ調整することが好ましい。

請求項（抜粋）：

溶解槽で蒸発材料を溶解し、溶解槽に連通し、真空雰囲気に配置された蒸発槽に蒸発材料を供給し、溶解槽に浸漬したブロックの浸漬深さにより蒸発槽内にある蒸発材料の蒸発面の高さを調整しながら、蒸発槽で蒸発した蒸気をシャッター及びダクトを経て被めっき基板まで輸送することを特徴とする蒸発材料の安定供給方法。