特許

J-GLOBAL ID：200903007709970046

スルーホール検査方法および装置

発明者： 石川 忠広 ,  寺田 賢一 ,  小泉 樹則
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立コンピュータエレクトロニクス
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290007
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138049
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 スルーホールの検査を高速に行え、また穴詰まりを起こしている欠陥を確実に検出することができ、スルーホールのピッチの変更に対して極めて容易に対処することができる。【構成】 検査対象のグリーンシートをピッチデータに従った間隔で列方向または行方向に移動させ、その1ピッチ移動毎に、透過照明光によって形成されるグリーンシートの平面画像を撮像し、その撮像したグリーンシートの1ピッチ移動毎の平面画像をスルーホールの列方向または行方向に走査し、列方向または行方向のスルーホールの数を算出し、算出したスルーホールの数が規定数に一致するか否かによってスルーホールの欠陥の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

多数のスルーホールが形成された検査対象のグリーンシートの一方の平面を光源によって照らしたうえ、列方向または行方向のスルーホールの形成間隔を示すピッチデータに従った間隔で検査対象のグリーンシートを列方向または行方向に移動させ、その1ピッチ移動毎に、前記光源の透過照明光によって形成されるグリーンシートの平面画像を撮像手段によって撮像し、その撮像したグリーンシートの1ピッチ移動毎の平面画像をスルーホールの列方向または行方向に走査し、列方向または行方向のスルーホールの数を算出し、算出したスルーホールの数が規定数に一致するか否かによってスルーホールの欠陥の有無を判定することを特徴とするスルーホール検査方法。