特許

J-GLOBAL ID：200903007710529817

平板状試料の移動ステージ

発明者： 渡辺 巌
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201298
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 振動の影響をなくすことができる平板状試料の移動ステージを実現する。【構成】 ウエハ6の表面の走査電子顕微鏡像の観察を行う場合、ウエハ6を回転ステージ4に固定された3つの固定式接触子5上に載せ3点支持する。その後、観察すべき部分を走査電子顕微鏡の電子ビームの光軸上に位置させる。ここで、観察すべき部分が垂れ下がっていると、その部分でウエハ6の振動が発生し、像が振動して解像度が劣化する。その場合、観察部分に接近した可動接触子12を対応する押付板9を圧電素子11を駆動することによって上方に移動させ、可動接触子12を押し上げ、ウエハ6の裏面に接触させる。このウエハ6の裏面と可動接触子12とを接触させた瞬間、ウエハ6の上下振動が規制され、像上に現れた水平成分の振幅が減少する。

請求項（抜粋）：

平板状試料の所定領域で荷電粒子ビームを走査し、荷電粒子ビームの走査領域の走査像の観察を行う装置における試料の移動ステージであって、試料を移動させる移動機構と、平板状試料の裏面から試料を支持する複数の固定支持部材と、複数箇所に設けられ、それぞれが任意に試料の裏面から試料を支持することができる可動式支持部材とを備えたことを特徴とする平板状試料の移動ステージ。