ガスセンサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-301720
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107050
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】ヒーターが経年的に劣化してその抵抗が変化したり、断線しても、ガス検知部5所定の動作温度に保持することができ、被検出ガスの正確な濃度を検出することのできるガスセンサの提供を目的とする。【解決手段】絶縁基板6と、第一および第二ヒーター7および9と、第一および第二絶縁膜8および10と、ガス検知部5と、リード電極膜3a、3b、11a、11b、12aおよび12bと、緻密なコーティング膜13と、電圧供給手段を備えることにより、第一および第二ヒーター7および9のうちどちらか一方が経年的に劣化してその抵抗が変化したり、断線しても、別のヒーターによりガス検知部5を所定の動作温度に保持するので、被検出ガスの正確な濃度を検出することができる。

請求項（抜粋）：

表面が電気的絶縁性を有する絶縁基板と、前記絶縁基板の表面に形成した第一ヒーターと、前記第一ヒーターを電気的に絶縁する第一絶縁膜と、前記第一絶縁膜の上に形成した第二ヒーターと、前記第二ヒーターを電気的に絶縁する第二絶縁膜と、前記第二絶縁膜の上に形成したガス検知部と、前記第一および第二ヒーターおよび前記ガス検知部よりリードを取り出すリード電極膜と、前記ガス検知部以外の部分を覆うように形成した緻密なコーティング膜と、前記ガス検知部を所定温度に加熱するように前記第一および第二ヒーターのうち少なくとも一つのヒーターに電圧を供給する電圧供給手段を備えてなるガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/409

FI (2件)：

G01N 27/46 371 G , G01N 27/58 B

Fターム (14件)：

2G004BB04 , 2G004BC03 , 2G004BD04 , 2G004BF05 , 2G004BF07 , 2G004BF08 , 2G004BH15 , 2G004BJ03 , 2G004BK04 , 2G004BL08 , 2G004BL17 , 2G004BL19 , 2G004BM04 , 2G004BM07

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