特許
J-GLOBAL ID：200903007715912724
電荷移動力検出装置及び電荷移動力検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122801
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028625
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 導電性の有無に係わらず物質表面の電荷移動力を正確に測定しうる電荷移動力検出装置及び方法を提供し、その測定により、物質の識別、局所的なイオン化エネルギー、電子親和力、仕事関数、界面の分極状態、界面の反応性等の物理的および化学的性質の検出を可能にする。【解決手段】 試料12表面の電荷移動力により変位しうる弾性体(板バネ)14の先端に配置された検出用探針10と、検出用探針10に電位を供給する電位供給手段18と、検出用探針の変位を検出する変位検出手段22、24とを備えた測定系と、試料12を該測定系より実質的に絶縁しうるガラス板20と接地された金属板21とからなる試料保持部材と、を備え、検出用探針10の先端が、Au、Ag、Pt等の金属及びその金属間化合物、酸化物半導体、電子供与体となり得る有機化合物、電子受容体となり得る有機化合物などから選ばれる易電荷移動物質により被覆されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料表面の電荷移動力により変位しうる弾性体の先端に配置された検出用探針と、検出用探針に電位を供給する電位供給手段と、検出用探針の変位を検出する変位検出手段と、を備えた測定系と、試料を該測定系より実質的に絶縁しうる試料保持部材と、からなり、該検出用探針の先端が、易電荷移動物質により被覆されていることを特徴とする電荷移動力検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
