特許

J-GLOBAL ID：200903007720554941

容量可変素子

発明者： 竹内 雅樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253845
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079324
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】 小型化が可能で、低電圧で静電容量を可変することができる容量可変素子を提供する。【解決手段】 支持基板2に固定電極3を形成し、固定電極3の上側に間隙を介して片持ち梁5を固定電極3に対向させて形成する。片持ち梁5の固定電極対向面に可動電極4を形成する。可動電極4と片持ち梁5は支持端側から先端側に向かうに従って幅Dを狭くする。固定電極3と可動電極4間に電圧を印加すると固定電極3と可動電極4間にクーロン力が発生して片持ち梁5は撓み変位し、固定電極3と可動電極4間の静電容量は可変する。

請求項（抜粋）：

支持基板と、該支持基板に固定形成される固定電極と、上記支持基板に片持ち梁形状で支持され上記固定電極に空隙を介して対向配設される片持ち梁と、この片持ち梁の固定電極対向面に固定電極に対向して形成される可動電極とを有し、上記片持ち梁は、先端側の幅が支持端側の幅よりも狭くなっていることを特徴とする容量可変素子。