特許
J-GLOBAL ID：200903007720658640
輪帯光束形成方法および照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237930
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084760
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】半導体露光装置の照明系において、光束を遮光することなく連続的に可変の輪帯照明光束を得て、結像レンズのコントラストを向上させる。【構成】本適用例の半導体露光装置は、光束の大きさを変えるビーム変換器31と、二組の凸型円錐反射光11,14と二組の凹型反射鏡12,13とにより構成された輪帯光束形成装置2とを有し、ビーム変換器31で輪帯光束の外径を変化させ、凸型円錐反射鏡14で輪帯光束の内径を連続的に変えることができる。輪帯状光束で二次光源43を形成しマスク45を照明することにより、輪帯状二次光源像を結像レンズ46の入射瞳47に作ることにより、結像レンズ46のコントラストを向上させることができる。
請求項（抜粋）：
第1,第2の凸型反射鏡と第1,第2の凹型反射鏡とが光軸を同じくし、前記第1の凸型反射鏡に入射した光束が前記第1の凸型反射鏡で反射し、前記第1の凹型反射鏡を介して前記第2の凸型反射鏡で反射せれる輪帯状光束を得て、前記第2の凸型反射鏡を射出光束の光軸方向に移動させれることにより、前記射出光束の輪帯の形状を可変とすることを特徴とする輪帯光束形成方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 27/00
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
