特許

J-GLOBAL ID：200903007726145814

投影露光装置

発明者： 畑沢 正人 ,  池田 正俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 川北 喜十郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-255535
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082621
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 投影光学系の周囲温度が変化しても常に安定な結像特性をもたらす投影光学系を有する投影露光装置を提供する。【解決手段】 鏡筒20内に複数のレンズエレメント40が収容されてなる投影光学系PLを備える投影露光装置である。投影光学系PLの鏡筒20の内壁21と外壁20との間に、液体流路50が投影光学系PLの光軸方向に螺旋状に形成されている。流路50には温度制御ユニットから温度調節された液体が供給される。液体は、温度センサ41の信号を受けて温度調節ユニットにより常に設定温度に調節される。

請求項（抜粋）：

鏡筒内に複数の光学エレメントが収容されてなる投影光学系を備え、マスク上のパターンの像を前記投影光学系を介して感光基板上に結像する投影露光装置において、前記鏡筒の側壁内に温度制御された液体が流れる液体流路が形成され、前記液体流路に温度制御された液体を供給するための液体供給手段を備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-003316
  
• 特開平2-074024
  
• 特開昭60-122951